废气净化溶剂回收系统
废气净化溶剂回收系统
目前,对有机废气的净化方法,主要有吸收法(干法和湿法)、吸附法、冷凝法、燃烧法、氧化法及分解法等。 其中燃烧法、吸附法和吸收法(水洗、药液洗涤)较为常用。
近十年来,集成电路产业在我国得到了迅速的发展,随着产业规模的持续扩大,随之而产生的各种污染物也不断引起企业、国家等方面的高度重视。集成电路产生的污染物主要有生产废水、工艺废气、生活污水、动力设备噪声和固体废物等。这些污染物必须进行有效治理,才能提供安全的工作环境及保护周边的环境生态。
集成电路的工艺废气主要分为6 大类:
1)酸性废气:来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片的腐蚀、清洗过程以及扩散等工序,主要污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾等。
2 )碱性废气:来源于使用氨水、氨气的刻蚀工序,主要污染物为NH3。
3 )有机废气:来源于清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用有机溶剂清洗过程,主要成份为异丙醇、光刻胶等有机物。
4)含尘废气:来源于CVD 工艺排气,主要污染物为粉尘(S iO 2)。
5)工艺尾气:来源于扩散、离子注入和CVD等工序使用的特殊气体,如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B2H6)等,除部分在工艺中反应消耗外,其余均以尾气的形式排放。
6)热无处理废气:来源于扩散等工序中的热气排放,直接排入大气。
NMP净化浓缩回收系统
在锂离子电池制造工艺中,产生大量的含有有机溶剂的废气。这些废气如不经过净化处理,直接排放到大气中,会造成环境污染。将其回收不仅具有环保意义还有一定的经济效益。
甲基吡咯烷酮(简称NMP)作为一种溶剂在锂离子电池极片涂布上大量使用。在电池极片生产过程中,N-甲基吡咯烷酮以气态形式挥发到空气中,污染环境的同时,溶剂通过挥发而造成损失。
回收NMP溶剂系统,其核心技术就是利用分子筛的选择吸附特性,对溶剂进行选择吸附,吸附后的溶剂得到高度浓缩,然后经过冷凝处理后,最后溶剂以液态的形式进行回收。分子筛吸附转轮是以选择方式吸附有机溶剂的大量附着疏水性沸石的蜂巢轮。视吸附溶剂的种类而有HZ-1、HZ-2、HZ-3等产品可供选择。
HZ-1:采用疏水性沸石(低极性溶剂用)
HZ-2:采用疏水性沸石(极性溶剂用)
HZ-3:采用高性能活性碳(适合广范围的溶剂用)
优点:
1、高性能:以选择方式吸附溶剂,在高温高湿条件下也可处理溶剂。
2、可制出大直径的尺寸:采用波浪加工成型,可定制出大直径的尺寸。
3、不燃性:沸石和活性碳不同,没有触媒性,因此处理酮类时不会着火。是无机材料构成,不会燃烧。
4、维护简单:沸石是结晶质具有安定的细孔构造,吸附劣化少,寿命长。
本公司的NMP溶剂浓缩回收设备采用日本NICHIAS专利技术生产,是与日本NICHIAS株式会社技术合作的结晶。本公司生产的NMP溶剂浓缩回收设备VSR系列 ,适用于锂电池注液、涂布等生产工艺过程中NMP有机溶剂的回收,大大保证用户NMP能耗的降低,也保证客户达到环保标准的废气排放要求。
本公司生产的VSR系列NMP溶剂浓缩回收设备
1. 溶剂回收率可以达到93%以上;
2. 安装本公司生产的VSR系列NMP溶剂浓缩回收设备后,能耗大幅度下降,加之高纯度的NMP回收效果,可为客户创造可观的经济效益。
本公司研制生产的有机废气转轮浓缩回收系统,其工作原理如下:
VSR系统采用日本NICHIAS溶剂吸附专用转轮,在工作过程中作缓慢的旋转,含有有机溶剂需要处理的气体从处理区流过后变成相对干净的气体,处理后的气体中有机溶剂的含量最低可降至50ppm以下。另一部分含有机溶剂的空气在再生风机的作用下从冷却区流过,然后被加热到一定的温度后,从转轮再生区域流过,由于转轮再生区域被再生空气加热,吸附在再生区域的有机溶剂蒸发出来随再生空气带走。转轮工作时,再生空气与处理空气的比例在1/5(浓缩倍数5倍),再生空气中有机溶剂的浓度可以是处理前浓度的5倍。废气被浓缩到一定的浓度后,利用冷冻法就可以使NMP冷凝回收。
典型的NMP回收系统:
系统中利用热回收装置(涂布机的排气余热预热进入涂布机的空气),起到良好的节能效果。